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庫侖法測(cè)厚儀丈量方法

庫侖法測(cè)厚儀丈量方法

依據(jù)測(cè)頭和被測(cè)工件外表是不是觸摸，可將覆層厚度丈量分為觸摸丈量和不觸摸丈量。

觸摸丈量是測(cè)頭和被測(cè)工件外表直觸摸的丈量，并有機(jī)械作用力存在，一般成成品和半成品的覆層厚度丈量大多選用觸摸丈量。

不觸摸丈量是測(cè)頭和被測(cè)工件外表不發(fā)生觸摸的丈量，并且沒有機(jī)械作用力存在，如x射線熒光，B射線法等就多用于生產(chǎn)中的不觸摸丈量。

從對(duì)被測(cè)覆層是不是進(jìn)行損壞看，覆層厚度可分為有損丈量和無損丈量，或稱損壞性丈量和非損壞性丈量。

有損丈量分陽極溶解庫侖法、光學(xué)法(包含覆層斷面顯微鏡丈量、干與法光學(xué)設(shè)備丈量、偏振光學(xué)法設(shè)備丈量、掃描電鏡丈量)、化學(xué)溶解法(包含點(diǎn)滴法、液流法、稱重法)。

無損丈量分為磁法、渦流法、射線法、光學(xué)法(包含光切法、光電法、雙光束干與法等)、電容法、微波法、超聲法。